TFT-teknologi blev udviklet i 1990'erne. Det vedtager nye materialer og nye processer til omfattende integreret halvleder-integreret kredsløbsproduktionsteknologi. Det bruges til flydende krystal (LC), uorganisk og organisk tyndfilm-elektroluminescens (EL og OEL) fladskærme. basis. TFT er en ikke-enkelt wafer, såsom et glas- eller plastsubstrat (det kan selvfølgelig også være på en wafer) gennem forstøvning og kemiske aflejringsprocesser til dannelse af forskellige film, der er nødvendige til fremstilling af kredsløb og store halvlederintegrerede kredsløb (LSIC ) fremstilles ved behandling af filmene. . Brugen af ikke-enkeltkrystal substrater kan reducere omkostningerne i høj grad og er en udvidelse af traditionelle store integrerede kredsløb til retningsretninger i stort område, multifunktion og billig pris. Det er mere teknisk vanskeligt at fremstille TFT'er, der styrer skifteydelsen for pixels (LC eller OLED) på glas- eller plastsubstrater i stort område end at fremstille store IC'er på siliciumskiver. Kravene til produktionsmiljøet (rensningsgrad er 100), kravene til renhed af råmaterialer (renheden af elektronisk specialgas er 99,999985%), og kravene til produktionsudstyr og produktionsteknologi overstiger den store integration af halvledere . Det er toppen af moderne storstilet produktion. teknologi. Dets vigtigste funktioner er:
(1) Stort område: Den første generation af TFT-LCD produktionslinje med stort areal (300 mm × 400 mm) blev sat i produktion i begyndelsen af 1990'erne. I første halvdel af 2000 var arealet af glassubstratet blevet udvidet til 680 mm × 880 mm), og størrelsen af glassubstratet var 950 mm × 1200 mm. Glassubstratet vil også blive taget i brug. I princippet er der ingen arealbegrænsning.
(2) Høj integration: Den 1,3-tommer TFT-chip, der anvendes til projektion af flydende krystaller, har en opløsning på XGA, der indeholder millioner af pixels. Filmtykkelsen på det 16,1 tommer TFT-array amorfe silicium med en opløsning på SXGA (1280 × 1024) er kun 50 nm, og TAB ON GLASS og SYSTEM ON GLASS-teknologier, integrationen af dens IC, kravene til udstyr og forsyningsteknologi og den tekniske vanskelighed Alle overstiger den traditionelle LSI.
(3) Kraftige funktioner: TFT blev først brugt som et matrixplaceringskredsløb for at forbedre lysventilkarakteristika for flydende krystaller. For skærme med høj opløsning opnås nøjagtig kontrol af objektet gennem spændingsregulering i området 0-6V (typisk 0,2 til 4V), hvilket gør det muligt for LCD at opnå skærme af høj kvalitet og høj opløsning. TFT-LCD er den første fladskærm i menneskets historie, der overstiger CRT i skærmkvalitet. Og folk begynder at integrere driver-IC'et på glassubstratet, og funktionen af hele TFT vil være mere kraftfuld, hvilket er uovertruffen af traditionelle store halvlederintegrerede kredsløb.
(4) Lave omkostninger: Glassubstratet og plastsubstratet løser grundlæggende omkostningsproblemet med integrerede halvlederkredsløb i stor skala og åbner et bredt anvendelsesrum til anvendelse af store halvlederintegrerede kredsløb.
